工業(yè)CT是一種X射線掃描成像技術(shù)，實現(xiàn)產(chǎn)品無損可視化準確測量，并可搭配光學(xué)、光纖、探針、激光掃描等多種傳感器。對工件內(nèi)外部所有結(jié)構(gòu)尺寸全面的高精密測量，同時可實現(xiàn)工件材質(zhì)的缺陷分析。

　　工業(yè)CT檢測主要用于檢測高密度和大尺寸物體，應(yīng)用高能量X射線探，需有更高的系統(tǒng)分辨力等等。目前工業(yè)CT技術(shù)的應(yīng)用十分廣泛；在汽車等制造領(lǐng)域，可以用于零部件的缺陷檢測、質(zhì)量控制和實效分析；在電子行業(yè)，可以用于芯片封裝多余物檢測、封裝工藝改進和逆向設(shè)計;在航空航天領(lǐng)域可用于產(chǎn)品質(zhì)量控制、裝配工藝分析；總之，凡是需要觀測樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)的場合都能用到工業(yè)CT，是一種十分理想的無損檢測手段。
 

　　工業(yè)CT常用的CT掃描模式有II代掃描、III代掃描。III代掃描具有更高的效率，但是容易由于校正方法不佳而導(dǎo)致環(huán)狀偽影（所以減弱或消除環(huán)狀偽影是體現(xiàn)CT系統(tǒng)制造商技術(shù)水平的主要內(nèi)容之一）；II代掃描效率大約是III代掃描的1/10—1/5，但其對大回轉(zhuǎn)直徑工件檢測有益。此外CT系統(tǒng)通常會具備數(shù)字射線檢測成像（DR）功能。

　　工業(yè)CT系統(tǒng)的核心性能指標包括：

　　1、空間分辨率：從CT圖像中能夠辨別最小結(jié)構(gòu)細節(jié)的能力。

　　2、密度分辨率：從CT圖像中能夠分辨出最小密度差異的能力（通常跟特征區(qū)域大小結(jié)合在一起評定）。

　　空間分辨率與密度分辨率的關(guān)系。在輻射劑量一定的情況下，空間分辨率與密度分辨率是相互矛盾的兩個指標。提高空間分辨率會降低密度分辨率，反之亦然。

　　對于普通的工業(yè)CT系統(tǒng)，其核心性能指標只有空間分辨率和密度分辨率；而對于一臺高精度測量工業(yè)CT系統(tǒng)而言，除了上述兩個核心性能指標外，還有另外兩個核心性能指標：

　　2、幾何測量精度：在工業(yè)CT圖像上測得某對象的幾何尺寸與該對象真實尺寸之間的絕對誤差。

　　2、密度測量精度：在工業(yè)CT圖像上測得某對象的密度值與該對象真實密度值之間的相對誤差。